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收费标准
| 仪器名称: | 显影台1(19007060)(编号：19007060) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 仪器名称: | RTP快速退火炉(编号：12008198) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | 校内：自行操作：200元/小时。 委托加工：300元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费100元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外：自行操作：400元/小时。 委托加工：600元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行操作：200元/小时。 委托加工：300元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费100元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外：自行操作：400元/小时。 委托加工：600元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | SFU测试系统(编号：0608312Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过。 |
| 仪器名称: | 船载拖曳水平接收阵(编号：19031234) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过。 |
| 仪器名称: | 矢量信号发生器(编号：0400330Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组2021年第1次会议审核通过 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪(编号：0302709Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢网分析 | 元/次 | 600.0 | 测试费 | 收费管理小组第七十八次会议 |
| 微波测量 | 元/次 | 200.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 网络分析仪(编号：14020832) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 微波测量 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第78次会议 |
| 矢网分析 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第78次会议 |
| 仪器名称: | 太赫兹混频接收机(编号：17010926) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过 |
| 仪器名称: | 微波矢量信号发生器(编号：0404435Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过 |
| 仪器名称: | 信号频谱仪(编号：15014304) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第89次会议 |
| 仪器名称: | 超高速示波器(编号：17009299) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 2000.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过。 |
| 仪器名称: | 传输线脉冲器测试系统(编号：0806016Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试服务 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 老系统导入。 |
| 仪器名称: | 电子束蒸发仪(编号：13017773) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工收费 | 元/小时 | 900.0 | 测试费 | 15分钟为基本计时单位。 贵金属单独结算。 设备培训费400元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 自行操作收费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2018年第4次会议。15分钟为基本计时单位。 贵金属单独结算。 设备培训费200元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 激光显微镜(编号：0805533Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 图像观察 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 全自动宽谱可调超快激光器系统(编号：19029154) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自行操作 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统(编号：15018957) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 720.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组2018年第4次会议通过 |
| 仪器名称: | ALD原子层沉积系统(编号：12005193) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 720.0 | 测试费 | 校内：自行操作：240元/小时。 委托加工：360元/小时。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外：自行操作：480元/小时。 委托加工：720元/小时。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费400元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 480.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行操作：240元/小时。 委托加工：360元/小时。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外：自行操作：480元/小时。 委托加工：720元/小时。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费400元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 磁控溅射系统(编号：19002923) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 850.0 | 测试费 | 校内【1】自行操作400元/小时。【2】委托加工600元/小时。【3】设备培训200元/人/次。【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。【5】靶材自带或由平台提供费用另计。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 校外【1】自行操作650元/小时。【2】委托加工850元/小时。【3】设备培训400元/人/次。【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。【5】靶材自带或由平台提供费用另计。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（收费管理小组2020年第2次会议通过） |
| 机时费 | 元/小时 | 650.0 | 自助上机机时费 | 校内【1】自行操作400元/小时。【2】委托加工600元/小时。【3】设备培训200元/人/次。【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。【5】靶材自带或由平台提供费用另计。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 校外【1】自行操作650元/小时。【2】委托加工850元/小时。【3】设备培训400元/人/次。【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。【5】靶材自带或由平台提供费用另计。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（收费管理小组2020年第2次会议通过） |
| 仪器名称: | 倒扣焊键合机(编号：19010678) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。 【3】设备培训费100元/小时。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 校外： 【1】自行操作1200元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】设备培训费200元/小时。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 |
| 机时费 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。 【3】设备培训费100元/小时。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 校外： 【1】自行操作1200元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】设备培训费200元/小时。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 电子束直写设备(编号：19017898) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1800.0 | 测试费 | 校内【1】自行操作1000元/小时。【2】委托加工1200元/小时。【3】设备培训费100元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）。校外【1】自行操作1500元/小时。【2】委托加工1800元/小时。【3】设备培训费200元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）。【4】起步时间30分钟。30分钟以上15分钟为基本计时单位。【5】耗材（电子束胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【样品要求】1.导电性不好的样品(如石英、玻璃、SiO2等)加工精度不保证。如需导电胶单独计费。2.样品尺寸：4英寸以下圆形样品；方形或矩形样品；5英寸以下光刻版。3.混合套刻标记需清晰，符合规范。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。(收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 机时费 | 元/小时 | 1500.0 | 自助上机机时费 | 校内【1】自行操作1000元/小时。【2】委托加工1200元/小时。【3】设备培训费100元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）。校外【1】自行操作1500元/小时。【2】委托加工1800元/小时。【3】设备培训费200元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）。【4】起步时间30分钟。30分钟以上15分钟为基本计时单位。【5】耗材（电子束胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【样品要求】1.导电性不好的样品(如石英、玻璃、SiO2等)加工精度不保证。如需导电胶单独计费。2.样品尺寸：4英寸以下圆形样品；方形或矩形样品；5英寸以下光刻版。3.混合套刻标记需清晰，符合规范。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。(收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 仪器名称: | 反应离子干法刻蚀机(编号：19022272) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 分子束外延设备(编号：19017621) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 加工费 | 元/小时 | 8000.0 | 自助上机机时费 | 校内6000元/小时，1天为基本时间单元，人员培训费用：4000元/小时，特殊情况另议。 校外8000元/小时，1天为基本时间单元，人员培训费用：4000元/小时. 天为时间基本单元，特殊情况另议。由学校收费管理小组2021年第1次会议 |
| 仪器名称: | 感应耦合等离子干法刻蚀系统(编号：19022481) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 光刻机(编号：12016042) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1320.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工660元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩模版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作800元/小时。 【2】委托加工1320元/小时。【3】设备培训费400元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩模版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工660元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩模版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作800元/小时。 【2】委托加工1320元/小时。【3】设备培训费400元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩模版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 仪器名称: | 深反应刻蚀机(编号：13017746) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 碳化硅氧化炉(编号：19017620) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 校内： 【1】升降温时间300元/小时，工艺时间600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】30分钟为基本时间单元。 校外： 【1】升降温时间600元/小时，工艺时间1200元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】30分钟为基本时间单元。 |
| 机时费 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】升降温时间300元/小时，工艺时间600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】30分钟为基本时间单元。 校外： 【1】升降温时间600元/小时，工艺时间1200元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】30分钟为基本时间单元。 |
| 仪器名称: | 椭圆偏振光谱仪(编号：18017626) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费-送样 | 元/样 | 120.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 烘胶台(编号：15008414) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】80元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 校外： 【1】160元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准为不含税价格。 |
| 仪器名称: | 有机腐蚀台1（19007035）(编号：19007035) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 显微镜(编号：20031498) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | 校内：自行操作：50元/小时。 委托测试：70元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行操作：100元/小时。 委托测试：150元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行操作：50元/小时。 委托测试：70元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行操作：100元/小时。 委托测试：150元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | BOE腐蚀台3(20007462)(编号：A20000036) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 显影台2(19007060)(编号：A20000024) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 仪器名称: | 数字串行分析采样示波器(编号：18005508) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 仪器使用费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 仪器名称: | 模拟信号发生器(编号：0909021Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 反应等离子刻蚀系统(编号：18021931) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 1400.0 | 自助上机机时费 | 由浙江大学收费管理小组2018年第4次会议通过 |
| 仪器名称: | 电磁兼容接收机（频谱仪）(编号：13006663) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组第八十九次会议批准 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪(编号：13007166) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 微波测量 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 矢网分析 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 仪器名称: | 4通道无线信道模拟器（网络拓扑模拟器）(编号：20021705) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试项目 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组2021年第1次会议审核通过 |
| 仪器名称: | 高速60G码型发生系统(编号：20032158) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试服务 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过。 |
| 仪器名称: | 12寸半自动探针台(编号：20028774) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 2000.0 | 自助上机机时费 | 已经学校收费管理小组2021年第1次会议审核通过 |
| 仪器名称: | 带光学窗口和磁场的低温恒温器(编号：20031506) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自行操作 | 元/小时 | 850.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 船载大功率垂直发射阵(编号：20040158) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过。 |
| 仪器名称: | 高性能频谱仪(编号：0400260Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试项目 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组第八十九次会议批准 |
| 仪器名称: | 步进式激光直写曝光系统(编号：19008340) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1000.0 | 测试费 | 校内【1】自行操作600元/小时。【2】委托加工800元/小时。【3】设备培训费200元/人/次（含匀胶、导图、写图、显影、显微观察时间）。【4】15分钟为基本计时单位。耗材（胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【5】制版费根据线条尺寸、光刻版大小和材质按数量单独计费并折算机时计收。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外【1】自行操作800元/小时。【2】委托加工1000元/小时。【3】设备培训费400元/人/次（含匀胶、导图、写图、显影、显微观察时间）。【4】15分钟为基本计时单位。耗材（胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【5】制版费根据线条尺寸、光刻版大小和材质按数量单独计费并折算机时计收。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。(收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 校内【1】自行操作600元/小时。【2】委托加工800元/小时。【3】设备培训费200元/人/次（含匀胶、导图、写图、显影、显微观察时间）。【4】15分钟为基本计时单位。耗材（胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【5】制版费根据线条尺寸、光刻版大小和材质按数量单独计费并折算机时计收。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外【1】自行操作800元/小时。【2】委托加工1000元/小时。【3】设备培训费400元/人/次（含匀胶、导图、写图、显影、显微观察时间）。【4】15分钟为基本计时单位。耗材（胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。【5】制版费根据线条尺寸、光刻版大小和材质按数量单独计费并折算机时计收。【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。(收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 仪器名称: | 等离子清洗机(编号：19013336) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】150元/小时。 【2】起步时间15分钟。 校外： 【1】300元/小时。 【2】起步时间15分钟。 |
| 仪器名称: | 真空烘箱(编号：18026856) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 500.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】设备培训费50元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】机时费含HMDS费用。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】机时费含HMDS费用。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】设备培训费50元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】机时费含HMDS费用。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】机时费含HMDS费用。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 匀胶热板一体机3(19008323)(编号：A20000030) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 匀胶热板一体机1(19008323)(编号：19008323) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 分析仪器*热电偶19017349(编号：A20000040) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | 校内：自行操作200元/小时。 委托加工300元/小时。15分钟为最小计时单位。 设备培训费100元/人/次。 校外：自行操作400元/小时。 委托加工600元/小时。15分钟为最小计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。 （参考浙江大学收费管理小组2018年第4次会议通过） |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行操作200元/小时。 委托加工300元/小时。15分钟为最小计时单位。 设备培训费100元/人/次。 校外：自行操作400元/小时。 委托加工600元/小时。15分钟为最小计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。 （参考浙江大学收费管理小组2018年第4次会议通过） |
| 仪器名称: | 可编程光信息处理系统(编号：17015573) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2021年第1次会议通过 |
| 仪器名称: | MIMO信道模拟器(编号：12006763) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分析测试项目 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组2021年第1次会议审核通过 |
| 仪器名称: | 精密自动划片机(编号：21004829) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 划片 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 场发射扫描电子显微镜(编号：21028016) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | 喷金50元/次。校外喷金100元/次。收费管理小组第七十八次会议，浙大校办2000年（18）号。 |
| 仪器名称: | 有机腐蚀台2（19007035）(编号：A20000022) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 有机腐蚀台3（19007035）(编号：A20000026) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | RCA清洗台2 (20007461)(编号：A20000031) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | RCA清洗台1 (20007461)(编号：20007461) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 显影台3(19007060)(编号：A20000025) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工费300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 校外： 【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工费400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液及试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 仪器名称: | BOE腐蚀台1(20007462)(编号：20007462) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | RCA清洗台3 (20007461)(编号：A20000033) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 高速数字码型信号发生器(编号：18005153) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 设备使用费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 仪器名称: | BOE腐蚀台2(20007462)(编号：A20000034) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内: 【1】160元/小时。 【2】委托加工260元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外： 【1】300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统(编号：21011187) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工 | 元/小时 | 720.0 | 自助上机机时费 | 不允许课题组之外的人员自行操作。30分钟为基本计时单位，收费标准为不含税价格。收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时收。（参考浙江大学收费管理小组2018年度第4次会议） |
| 仪器名称: | 匀胶热板一体机2(19008323)(编号：A20000029) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工500元/小时。 【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 校外： 【1】自行操作600元/小时。 【2】委托加工800元/小时。【3】除光刻配套培训外，单独培训该设备培训费100元/人/次。 【4】不足30分钟按30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。 【5】该价格含常规提供滴管、清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，费用另行计算并按标准工艺折算机时计收。 |
| 仪器名称: | 探针轮廓仪(编号：12017539) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 260.0 | 测试费 | 校内：自行测试：80元/小时。 委托测试：130元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行测试：160元/小时。 委托测试260元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行测试：80元/小时。 委托测试：130元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行测试：160元/小时。 委托测试260元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 低压化学气相沉积设备(编号：21005858) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 1600.0 | 自助上机机时费 | 设备培训费：校内200元/人/次/（机时费另算）；校外400元/人/次/（机时费另算）。委托加工费：校内1000元/小时；校外1800元/小时。15分钟为基本计时单位。 |
| 仪器名称: | 匀胶机(编号：15009161) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内： 【1】80元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材。其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 校外： 【1】160元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材。其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。 |
| 仪器名称: | MEMS键合加工系统(编号：21006956) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 键合 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 显微镜(编号：13021322) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托机时费 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | 校内：自行操作：50元/小时。 委托测试：70元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行操作：100元/小时。 委托测试：150元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 校内：自行操作：50元/小时。 委托测试：70元/小时。 6分钟为基本时间单位。 校外：自行操作：100元/小时。 委托测试：150元/小时。 6分钟为基本时间单位。 说明：收费标准为不含税价格。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 石英管清洗机(编号：20007463) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 校内【1】160元/小时。【2】委托加工260元/小时。【3】15分钟为基本计时单位。【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外【1】300元/小时。【2】委托加工400元/小时。【3】15分钟为基本计时单位。【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 (浙江大学收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内【1】160元/小时。【2】委托加工260元/小时。【3】15分钟为基本计时单位。【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 校外【1】300元/小时。【2】委托加工400元/小时。【3】15分钟为基本计时单位。【4】含常规提供有机试剂（若使用量过大按实际情况补收耗材费），其他自备或由中心提供按成本单独计费。 (浙江大学收费管理小组2020年第2次会议通过) |
| 仪器名称: | 自动划片机(编号：21009867) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 晶圆切割 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 30分钟为基本单位, 换刀200元/次。 |
| 仪器名称: | 波长可调飞秒激光振荡器(编号：21026428) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 飞秒激光测试 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 参考：飞秒激光器，仪器编号：11025182 |
| 仪器名称: | 高灵敏度高分辨率光谱测量仪(编号：21015280) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光谱测试 | 元/样 | 250.0 | 测试费 | 参考：PI光谱仪，仪器编号：13019274，收费管理小组第九十次会议批准。 |
| 仪器名称: | 单光子探测器(编号：22033273) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 收费管理小组2023年第3次会议通过 |
| 仪器名称: | 微纳光电子探针台(编号：21015277) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电学测试 | 元/样 | 800.0 | 测试费 | 参考：高精度探针台，仪器编号：21018944参考校2019年第3次收费管理小组会议 |
| 仪器名称: | 正置双层光路金相显微镜(编号：21012679) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光学检测 | 元/样 | 300.0 | 测试费 | 参考：金相显微镜，仪器编号：17016874。参考浙大校办（2000）18号 |
| 仪器名称: | 扫描俄歇纳米探针(编号：22039603) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自行操作表面分析 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 15分钟为基本计时单位。收费管理小组2023年第2次会议通过 |
| 委托测试深度剖析 | 元/小时 | 1400.0 | 测试费 | 15分钟为基本计时单位。 收费管理小组2023年第2次会议通过 |
| 委托测试表面分析 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 15分钟为基本计时单位。收费管理小组2023年第2次会议通过 |
| 自行操作深度剖析 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 15分钟为基本计时单位。收费管理小组2023年第2次会议通过 |
| 仪器名称: | 红外显微成像系统(编号：22031498) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组2022年第二次会议 |
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