浙江大学大型仪器共享服务平台

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动态热机械分析仪:

根据测试的实际情况，测试途中可任意调整样品，改变测试参数；驱动装置已抛弃了过去的DMA的弹簧装置的LVTD或空气轴承装置，更加精确耐用；低温测试更加省液态氮；可配玻璃窗，观察测试情况，或进行光学测试等；可与红外光谱仪联用。

细胞牵张拉伸应力加载分析系统:

对细胞进行力学加载

200kV高分辨透射电子显微镜:

超高分辨成像，明暗场像，电子衍射，微结构分析，形貌分析，晶体结构确定。无能谱附件，不能做成分分析

微波信号发生器:

微波信号测量

三维飞行仿真转台:

半导体参数分析仪:

高达 3 kV/1500 A 的运行范围 -50 °C 至 +250 °C 的全自动快速热测试自动创建功率器件（半导体和元器件）技术资料自动记录功能可以避免数据丢失

开关功放型电振动台:

结构模型动力试验、含液容器振动试验

激光多普勒测速仪:

LDV测速技术可以应用于风洞、水洞乃至大气环境的流动测速。

红外沟道温度测试仪:

探测器阵列一致性测试验证系统:

光学单元动态响应特性是研究工作中的一项重要内容。该光学移动测试系统可以测试器件在动态移动下的光电响应特性变化，是研究器件性能的重要方向。

激光共聚焦拉曼光谱仪:

共聚焦拉曼光谱测量，具有高空间和高光谱分辨率，可覆盖紫外至近红外波段，超快速共焦成像，超低波数检测。

噪声牵引系统:

进行功率管/芯片源阻抗和负载阻抗的匹配测试，得到功率管/芯片的实际工作特性和变化趋势。

测力显示器:

按标准进行合格检验，分析，咨询。确保承力结构力学性能安全可靠。力学受力分析。

双脉冲泵浦激光器:

可进行空气动力学及流体力学流场测量及定量分析

原位双轴疲劳试验系统:

对薄膜类软材料进行单轴和双轴的拉伸、剪切、蠕变、松弛、疲劳等的性能测试，对块状软材料进行单轴和双轴的压缩、弯曲等的性能测试。

粉体流变仪:

该粉体流变仪，针对工业和自然界中的粉体材料，可以进行如下七种流变性能测量：一、基本流动能测试：测试粉末在预处理条件下的动力学流动性能；二、充气测试：直接测定粉末的粘结性；三、粉末固结测试：了解直接压缩或者震动产生的固结对粉末流动性质的影响；四、压缩性测试：确定粉末密度随压缩应力的变化；五、透气性：测量粉末对空气透过样品产生的阻力；六、剪切盒：量化粉末的剪切强度；七、壁面摩擦测试：测量粉末和容器表面间的摩擦。

射频芯片半自动探针台:

可以提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动自动误差补偿，远程控制等自动化功能

发动机:

主要用做某型号无人机发动机，无法共享。先进技术研究院，略。

光刻键合对准系统:

可支持2、rdquo；，3、rdquo；，4、rdquo；，6、rdquo；，8、rdquo；及碎片光刻；手动、半自动系统；曝光时间可调；声控功率报警；温度及其气流传感器。可以实现各种非标准基片曝光、复杂微纳图案、正反面曝光等。

长距离显微镜:

扫描式激光测振仪:

超高频多点式多普勒振动测试仪可以在外场及室内非接触状态下，测量机械设备，航天器件等整机及部件各部位的振动状态，振幅大小及频率响应，各阶频率振型，传递函数等

半导体参数测试仪:

对器件和材料的C-V，1-V参数分析，对不同材料的工艺参数进行分析和运算，比如掺杂浓度、平带电压、栅面积、开启电压等，通过这些参数评价器件的工艺性能，支持新型半导体器件、新型纳米结构、纳米电子学等相关研究。

铁电测试分析仪:

铁电/压电材料性能测试

空间模拟器:

该设备通过 PLC 可编程控制器实现对真空系统各真空泵及真空阀门的开关控制及加热系统等的控制，可采用触摸屏界面实现现场控制，通过操作界面实现泵、阀、加热、制冷等手动开启及“一键自动工艺流程（包括自动真空运行，自动温度循环运行等）”，并通过曲线界面实现温度、真空度数据采集记录及存储，系统人机交互界面友好，实现系统状态、信息可视化，包括设备、仪表状态、输入输出状态，图形界面包括整个系统的原理图、温度、真空度、报警记录等相关参数，通过特定软件实现真空热试验。

频谱分析仪:

测量射频/微波信号的频谱特性，并进行不同电学参数的分析。

台式扫描电子显微镜:

台式扫描电镜主要用于对各种样品表面进行高分辨形貌观察，提供样品亚微米、纳米尺寸的高分辨图像，主用于表征金属材料、非金属材料、功能材料、高分子材料及微纳米器件等材料的微观形貌。

1315探测器单元测试标定系统:

可用于电类学科，测试材料在大功率红外强光照射下的材料特性变化

曙光集群:

微波矢量信号源:

在内部可以实现包含调频，调相，ASK，FSK等在内的多种调制方式，能够方便地对射频电路进行正确激励，大大方便了电路的调试过程，提高测试的准确性

数值仿真和数据分析平台:

本数值仿真和数据分析平台主要用于计算流体动力学数值模拟和分析，包括多相流的直接数值模拟，叶轮机械流场模拟，燃烧模拟，微流控模拟等等。

3D打印机:

主要功能： 1. 具有一次性直接成型高精度三维模型能力 2. 可打印自定义复合材料模型，包括弹性模量值自定义的类橡胶材料、生物兼容性材料、高温材料、透明材料等多种材料，实现多种数码材料互融复合，满足多种需求。

静电放电测试系统:

低频疲劳试验机:

材料的低频疲劳性能测试

矢量网络分析仪:

网络分析仪通过测试被测网络对频率扫描和功率扫描测试信号的响应，来得到被测器件的频率响应信息。

高精度激光多普勒测速仪（单分量）:

通过激光进行非接触的流场速度测量，能获得较高时空分辨率的数据。目前该技术的硬件集成和商业解决方案完全来自于国外的公司。

高频层析粒子图像测速系统:

可以实现瞬态三维空间三维速度场的测量，具有高频图像采集/层析PIV计算/三维显示功能；具有硬件GPU加速功能。;可对湍流信号进行数据后处理，具有本征正交分解/动态模态分析数据处理功能，同时具有三维压力场重构

T/R模块自动化测试系统:

主要用于高分专项XXX套片的组件和模块级测试。其包含了多路高精度电源测量单元，至少41路的高速引脚电平功能及13路串行逻辑码生成能力，可以高速快捷的完成T/R模块的自动化测试，为T/R模块的性能验证提供了便利。

微波探针台:

对微波毫米芯片进行在片测试，并进行不同电学参数的分析

噪声牵引测试系统:

全自动倒置荧光显微镜:

高灵敏度荧光拍照，电动扫描拼图，图像分析处理。

半导体参数分析仪:

高精度直流交流参数测量

dSPACE实时仿真系统:

dSPACE实时仿真系统是快速控制原型及硬件在回路仿真的统一解决案。通过硬件在回路仿真指导飞控算法设计、验证飞控系统性能。

三轴飞行仿真转台:

仪器实现三轴转动，转速电动可调，并可以以一定精度保持在特定位置；而且可以编程控制转台按照设定运行规律进行转动或根据上位计算机的指令以10~100HZ的频率实时调整转速与位置。

高精度芯片取片机:

芯片自动拾取

热线风速计:

高低温探针台:

用于高低温环境下芯片测试

液压式万能试验机:

高强材料（钢绞线，钢丝绳，复合材料纤维筋）力学应力应变测量

矢量网络分析仪:

微波网络分析

直流测试与筛片探针台:

用于芯片的直流测试

千斤顶:

各种预应力材料合格性检验；结构安全性试验；

有源负载牵引测试系统:

动态热机械分析仪:

功能：DMA可对粘弹性材料在不同载荷条件以及不同环境下进行力学测试，其中，载荷条件包括，不同振幅、频率、蠕变/应力松弛、恒定应变/应力等；环境条件包括温度场、液体环境等；DMA也可测量材料的玻璃化转变温度等。

矢量信号分析仪:

主要用于本研究所所研制的CMOS射频收发机芯片的测试。其主要功能是在芯片研发阶段对芯片指标，如噪声系数、相位噪声、IP3。幅频特性等指标进行正确评估

微波探针台:

微波芯片测试

矢量微波信号发生器:

电子束蒸发镀膜系统:

<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; box-sizing: border-box; padding: 0px; max-width: 100%; font-size: 14px; line-height: 26px; color: rgb(74, 74, 74); overflow-wrap: break-word; font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "PingFang SC", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", 微软雅黑, Arial, sans-serif;">本实验室围绕新型微纳信息电子器件，如可延展柔性无机电子器件、Micro LED显示、电磁超材料器件，开展力热设计-制备-应用研究。主要研究方向包括：<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; box-sizing: border-box; padding: 0px; max-width: 100%; font-size: 14px; line-height: 26px; color: rgb(74, 74, 74); overflow-wrap: break-word; font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "PingFang SC", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", 微软雅黑, Arial, sans-serif;">1、发展先进转印集成技术，包括磁控和热控转印集成技术，研究界面粘附调控机理，实现高效可控转印，应用于可延展柔性无机电子器件、Micro LED显示等新型微纳信息电子器件的批量制备；2、提出新型力热结构设计，揭示其力学变形和传热散热机理，研究服役条件下器件可靠性，为实现高性能电子器件建立力学和热学基础；3、基于先进转印技术和新型力热结构设计，制备新型微纳信息电子器件，包括柔性肌电极、脑电极、触觉传感器、Micro LED显示、电磁超材料器件等，探索其在医疗健康、康复工程、人机交互等领域的应用。实现薄膜材料的制备，可在柔性衬底或者刚性衬底上沉积金属、非金属半导体等各种材料薄膜；并可进行薄膜厚度的测量。

生物型原子力显微镜:

轻敲模式(Tapping Mode AFM)-拥有Q-control 控制技术；接触模式(Contact Mode AFM)；定量相位成像模式(Phase Imaging)；横向力模式(Lateral Force Microscopy, LFM)；磁场力显微技术(Magnetic Force Microscopy, MFM) ；扫描开尔文显微镜（SKM）；力调制(Force Modulation)；静电力显微技术(Electric Force Microscopy, EFM)；表面电势显微术(Surface Potential Microscopy)；动态和静态力曲线测试（Force-Distance）；力阵列测量(Force Volume Measurement)；纳米压痕/划痕(Nanoindenting/Scratching)；压电响应模式(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode)

电子万能试验机:

高温炉，最高温度1100度。

真空单轴转台:

具有速度实时却换功能，自测试功能

夹式引伸仪:

有1000吨卧式反力架锚固试验应变系通测量；WE-600液压万能试验机大标距钢绞线应变测量；立式拉伸300吨压缩500吨反力架应变和变形测量数字化系统。

等离子体刻蚀系统:

<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; box-sizing: border-box; padding: 0px; max-width: 100%; font-size: 14px; line-height: 26px; color: rgb(74, 74, 74); overflow-wrap: break-word; font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "PingFang SC", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", 微软雅黑, Arial, sans-serif;">本实验室围绕新型微纳信息电子器件，如可延展柔性无机电子器件、Micro LED显示、电磁超材料器件，开展力热设计-制备-应用研究。主要研究方向包括：<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; box-sizing: border-box; padding: 0px; max-width: 100%; font-size: 14px; line-height: 26px; color: rgb(74, 74, 74); overflow-wrap: break-word; font-family: "Helvetica Neue", Helvetica, "PingFang SC", "Hiragino Sans GB", "Microsoft YaHei", 微软雅黑, Arial, sans-serif;">1、发展先进转印集成技术，包括磁控和热控转印集成技术，研究界面粘附调控机理，实现高效可控转印，应用于可延展柔性无机电子器件、Micro LED显示等新型微纳信息电子器件的批量制备；2、提出新型力热结构设计，揭示其力学变形和传热散热机理，研究服役条件下器件可靠性，为实现高性能电子器件建立力学和热学基础；3、基于先进转印技术和新型力热结构设计，制备新型微纳信息电子器件，包括柔性肌电极、脑电极、触觉传感器、Micro LED显示、电磁超材料器件等，探索其在医疗健康、康复工程、人机交互等领域的应用。刻蚀石英/蓝宝石/Si/SiNX/SiO2/Al/GaAs/GaN/W/WSi/Mo/Ta/TaSi等

高精度适量微波网络分析仪:

S参数测试、功率测试、噪声测试

流变仪:

进行高分子溶液、悬浮液和乳浊液等复杂流体的粘度、法向应力和应力松弛的测试；观察复杂流体内部的微观结构。

大数据共享传输技术验证系统:

本技术验证环境用验证跨多网段环境下的网络安全控制，网络安全管理及网络上模拟攻防试验等。

万能材料试验机:

适用于金属材料及构件的拉伸,压缩,弯曲,剪切等试验,也可用于塑料,混凝土,水泥等非金属材料同类试验的检测。　　性能特点：本机采用液压加力,油缸下置,液晶显示测力,主体与测力计分置的设计,具有操作方便,工作稳定可靠,试验精度高,加载平稳的特点。整机外型简洁,试验空间可调整。测量采用高精度传感器,检测结果数字曲线显示,并可直接存储,数据处理,打印出结果及曲线,具有联网等功能

微波波段频谱仪:

实验室承担了高精度星间测距的研究项目，根据合同要求，后续需要实现K/Ka波段的系统，而目前实验室缺乏该频段的频谱分析仪，无法方便地进行测试。为保证顺利完成项目，必须采购该仪器用于项目开发。

全电动光学切面成像系统:

活细胞工作站荧光显微镜能够在倒置荧光显微镜上实现长时间连续活细胞培养并能连续采集图像的成像工作站。可以观察培养孔板或培养皿内不经染色的透明活细胞；荧光观察适用于各种荧光标记的活细胞或固定玻片的荧光显微

单角度椭圆偏振仪:

氧化物，氮化物和光致抗蚀剂薄膜的厚度和折射率等光学参数

大型振动测试与控制器:

1) 本大型数据采集与分析系统基于PXI总线，通过对不同种类的数据采集卡、信号源输出卡的灵活搭配构建了一个功能强大、高精度、大规模的动态信号分析平台； 2) 可应用于多通道数据采集和实时信号分析,多通道数据记录,冲击测量分析； 3) 可进行时域分析时域采样、自相关分析、互相关分析、轨迹图、示波器功能频域分析 FFT、自功率谱密度、互功率谱密度、频响函数、相干函数、极坐标图统计分析柱状图； 4) 具有频率范围  最高76800Hz； 5) 具有触发源模拟输入信号、触发沿上升沿、下降沿、双沿触发量级设定量程范围内的电压值，触发模式超前、滞后，运行模式第一帧触发后自由运行、每帧手动触发、每帧自动触发； 6) 信号类型直流、正弦、方波、三角波、白噪声、脉冲、哨叫、正弦扫频、伪随机、爆破随机、成形随机、正弦叠加信号等，可设置信号幅值、频率； 7）试验模式有典型冲击模式、冲击响应谱模式；有冲击试验、碰撞试验、通用分析三种试验类型; 8）本系统还可进行声压分析，声功率分析，模态数据采集，数据记录与离线分析与数据后续处理。 9) 存储模式有在线存储、自动存储等。

压电力显微镜:

可用于各类材料的微纳观形貌扫描，常用力学、物理学性能测试及探究

金相显微镜:

各种金属材料表面处理镀层检验，厚度，表面粗糙度，镀层孔隙率，微纳加工期间表面形貌分析，微结构观察

激光调阻机:

空间大数据存储验证系统:

主要用于高分网格数据的存储和管理验证

一等标准测力计:

当测力仪数值有感觉出来变化误差是就需要自校

高分辨活细胞激光共聚焦显微镜:

该设备用于获取清晰的高质量的高分辨活细胞共聚焦荧光图像，可用于观测固定细胞，活细胞，动植物组织的深层结构，得到清晰锐利的多层Z 平面结构 (光学切片)。

动态分析三维显微系统:

高精度芯片捡片系统:

用于挑取固定在蓝膜上已划片的圆片上的管芯

高超声速流场测量和显示系统:

能够进行二维和三维流场的非接触测量和显示；能进行马赫数达到2-6范围内的流场测量；可以测量和显示达到1-2mm的微细高超边界层

高速高温环境测量系统:

可用于实验舱内气体温度、速度、组分的测量及流场观测

连续结构声振耦合分析系统:

振动与声学信号的采集与分析

三维压力场测量光源:

本设备主要应用是提供层析PIV实验的照明光源。通过时间解析的层析PIV能后实现测量体内三维压力场的重构。其主要思想是在获得流场速度场的基础上求解流场动量方程计算还原流场的压力场。

材料微观尺度力学性能表征平台:

用于固体材料（主要是金属，半导体，岩石及生物样品等）的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级，即可以得到几万倍的固体表面精细的微区图像。

中波红外检测器单元测试标定系统:

温度、湿度、振动三综合试验系统:

用于航空航天电子产品对环境适应性，使用可靠性的考核和评定，应用于电子产品设计缺陷的早期发现及工艺缺陷的筛选等场合

数字相控阵高速接口分析系统:

高速数据接口测试，分析物理层通信信号质量、信道高频衰减参数，等等

泵浦激光器:

PIV技术是七十年代末发展起来的一种瞬态、多点、无接触式的流体力学测速方法。近几十年来得到了不断完善与发展，PIV技术的特点是超出了单点测速技术（如LDV）的局限性，能在同一瞬态记录下大量空间点上的速度分布信息，并可提供丰富的流场空间结构以及流动特性。PIV技术除向流场散布示踪粒子外，所有测量装置并不介入流场。另外PIV技术具有较高的测量精度。由于PIV技术的上述优点，已成为当今流体力学测量研究中的热门课题，因而日益得到重视。

半导体划片机:

晶圆切割

SGI超级计算机:

矢量网络分析仪:

微波网络分析

频谱分析仪:

用于高精度测距系统、微小型测控系统，X波段高速数传系统的开发，对系统信号进行分析和测试。同时也能用于其他更低频段的项目开发。

808和1064纳米信标灯测试标定系统:

矢量网络分析仪:

实验室承担了高精度星间测距的研究项目，根据合同要求，后续需要实现K/Ka波段的系统，而目前实验室缺乏20GHz以上的网络分析仪，无法方便地进行测试。为保证顺利完成项目，必须采购该仪器用于项目开发。

纳米压痕仪及配套设备:

在微纳米尺度上进行材料力学性能研究的测试平台，包括纳米压痕试验、力学探针以及纳米力学显微镜。通过纳米压痕试验，获得材料的杨氏模量、硬度、刚度等。

多通道弹性体振动分析系统:

低湍流度静声风洞:

测试模型的气动力及流场特征

数字相控阵数据采集分析系统:

用于高速接口数据传输性能分析

实时仿真系统:

多功能板卡，离散量输入输出板卡，通道闭合电流范围、PCI载板等

布洛维硬度计:

检测洛氏硬度是否符合产品质量要求。渗碳件可以通过HRC硬度数值判断渗碳层厚度，特别是锚夹具的夹片，20CrMnTi材料，关心桥梁施工是否滑丝或断丝.

信号源分析仪:

测量射频/微波信号的信号特性，并进行不同电学参数的分析。

实时仿真系统:

用于飞行器的分布式半实物仿真，对分布式控制算法进行测试。

发动机:

主要用做某型号无人机发动机，无法共享。先进技术研究院，略。

超声波探伤机:

超声波探伤。

相关网站

友情链接

浙江大学实验室与设备管理处