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收费标准
| 仪器名称: | 高压功率芯片专用探针台(编号：18007987) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高压晶圆测试 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 晶圆和分立器件测试 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半自动8英寸探针台(编号：18004767) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 晶圆特性测试 | 元/小时 | 1000.0 | 测试费 | |
| 晶圆特性表征 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 学校2019年第3次收费管理小组会议通过 |
| 仪器名称: | ESD测试仪(编号：18005288) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| ESD测试 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 抗静电测试 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 超声扫描显微镜(编号：17025624) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 超声扫描表征 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | |
| 超声扫描测试 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体参数测试系统(编号：18005737) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体参数测试 | 元/样 | 80.0 | 测试费 | 参考收费管理小组89次会议 |
| 仪器名称: | 变温器件电学特性测试系统(编号：17025588) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 晶圆低温测试 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 晶圆低温表征 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组第101次会议通过 |
| 仪器名称: | 半导体参数测试系统(编号：18005738) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体参数测试仪 | 元/样 | 80.0 | 测试费 | 参考收费管理小组89次会议 |
| 仪器名称: | 热发射显微镜(编号：18005289) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| EMMI测试 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 2020年第5次收费管理小组会议通过 |
| 仪器名称: | 热阻测试仪(编号：17027031) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 结合热阻测试 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | |
| 热阻测试 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组第101次会议通过 |
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