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收费标准
| 仪器名称: | 台阶膜厚仪(编号：21036428) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行测试80元/小时。 【2】委托测试130元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试160元/小时。 【2】委托测试260元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 委托费 | 元/小时 | 260.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行测试80元/小时。 【2】委托测试130元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试160元/小时。 【2】委托测试260元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 电子束蒸镀仪(编号：20037423) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 薄膜材料的制备 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 靶材自备， 收费管理小组九十二次会议通过 |
| 仪器名称: | 快速退火炉(编号：21021681) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费100元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第四次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费100元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第四次会议） |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统(编号：22003542) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 720.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作240元/小时。 【2】委托加工360元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作480元/小时。 【2】委托加工720元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 480.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作240元/小时。 【2】委托加工360元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作480元/小时。 【2】委托加工720元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 匀胶机(编号：21003749) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】80元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。校外：【1】160元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 仪器名称: | 双面对准紫外光刻机(编号：21033341) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1320.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工660元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩膜版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作800元/小时。 【2】委托加工1320元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩膜版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工660元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩膜版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作800元/小时。 【2】委托加工1320元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【5】自备光刻掩膜版。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 磁控溅射沉积系统(编号：22005931) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 650.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训200元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外：【1】自行操作650元/小时。 【2】委托加工850元/小时。 【3】设备培训400元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 委托费 | 元/小时 | 850.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训200元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外：【1】自行操作650元/小时。 【2】委托加工850元/小时。 【3】设备培训400元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 仪器名称: | 磁控溅射沉积系统(编号：22005385) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 650.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训200元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外：【1】自行操作650元/小时。 【2】委托加工850元/小时。 【3】设备培训400元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 委托费 | 元/小时 | 850.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作400元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训200元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。校外：【1】自行操作650元/小时。 【2】委托加工850元/小时。 【3】设备培训400元/人/次。 【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。 【5】靶材自带或由平台提供费用另计。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 仪器名称: | 等离子清洗机(编号：22000438) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】150元/小时。 【2】起步时间15分钟。校外：【1】300元/小时。 【2】起步时间15分钟。 |
| 仪器名称: | 金相显微镜(编号：22003820) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作50元/小时。 【2】委托测试70元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试100元/小时。 【2】委托测试150元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 委托费 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作50元/小时。 【2】委托测试70元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试100元/小时。 【2】委托测试150元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 高精度探针台(编号：21018944) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行测试200元/小时。（自备探针耗材100元/小时） 【2】委托测试400元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试400元/小时。（自备探针耗材200元/小时） 【2】委托测试800元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2019年第3次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行测试200元/小时。（自备探针耗材100元/小时） 【2】委托测试400元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试400元/小时。（自备探针耗材200元/小时） 【2】委托测试800元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2019年第3次会议） |
| 仪器名称: | 热蒸发镀膜系统(编号：22005630) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作：400元/小时。 【2】委托加工：600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作：400元/小时。 【2】委托加工：600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 手套箱箱体(编号：21023868) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作75元/小时。校外：【1】自行操作150元/小时。（浙江大学收费管理小组第95次会议） |
| 仪器名称: | 智能金相荧光显微镜(编号：21036426) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作50元/小时。 【2】委托测试70元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试100元/小时。 【2】委托测试150元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作50元/小时。 【2】委托测试70元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。校外：【1】自行测试100元/小时。 【2】委托测试150元/小时。 【3】6分钟为基本时间单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 加热台(编号：21003584) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】80元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。校外：【1】160元/小时。 【2】15分钟为基本计时单位。 【3】该价格含常规提供清洁用有机试剂和无尘纸等耗材，其他耗材自备或由中心提供按成本单独计算。（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议） |
| 仪器名称: | 热蒸发镀膜系统(编号：22005890) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作：400元/小时。 【2】委托加工：600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费200元/人/次。 【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。校外：【1】自行操作：400元/小时。 【2】委托加工：600元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】靶材自带或由中心提供费用另计。 【5】设备培训费400元/人/次。 【说明】1.收费标准为不含税价格；2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 反应离子蚀刻机(编号：22012311) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 1400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作500元/小时。 【2】委托加工700元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。校外：【1】自行操作1000元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费400元/人/次。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作500元/小时。 【2】委托加工700元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费200元/人/次。校外：【1】自行操作1000元/小时。 【2】委托加工1400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【4】设备培训费400元/人/次。（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议） |
| 仪器名称: | 微电子打印机(编号：21021184) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作150元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。校外：【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组第101次会议） |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作150元/小时。 【2】委托加工300元/小时。 【3】设备培训费200元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。校外：【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工600元/小时。 【3】设备培训费400元/人/次。 【4】起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准为不含税价格。（浙江大学收费管理小组第101次会议） |
| 仪器名称: | 实验室通风柜(编号：21010080) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。校外：【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
| 委托费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校内：【1】自行操作200元/小时。【2】委托加工300元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。校外：【1】自行操作300元/小时。 【2】委托加工400元/小时。 【3】15分钟为基本计时单位。 【说明】收费标准仅针对常规提供的显影液、定影液及常规有机试剂，其他特殊耗材及显影液、腐蚀液等费用另计。 |
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