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BOE腐蚀台1(20007462)
地点:玉泉校区功率器件研究楼101()BOE腐蚀台2(20007462)
地点:微纳加工中心BOE腐蚀台3(20007462)
地点:微纳加工中心RCA清洗台1 (20007461)
地点:微纳加工中心RCA清洗台2 (20007461)
地点:微纳加工中心RCA清洗台3 (20007461)
地点:微纳加工中心RTP快速退火炉
地点:玉泉校区功率器件研究楼00104步进式激光直写曝光系统
地点:玉泉校区功率器件研究楼00103超高真空复合溅射镀膜系统
地点:玉泉校区功率器件研究楼00205磁控溅射系统
地点:玉泉校区功率器件研究楼00101倒扣焊键合机
地点:玉泉校区功率器件研究楼00103等离子清洗机
地点:玉泉校区功率器件研究楼103()等离子增强化学气相淀积系统
地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净室电子束直写设备
地点:玉泉校区功率器件研究楼微纳加工中心102反应离子干法刻蚀机
地点:玉泉校区功率器件研究楼00103分析仪器*热电偶19017349
地点:微纳加工中心感应耦合等离子干法刻蚀系统
地点:玉泉校区功率器件研究楼00101光刻机
地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净室烘胶台
地点:玉泉校区功率器件研究楼103()深反应刻蚀机
地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净间石英管清洗机
地点:玉泉校区功率器件研究楼101()台式扫描电子显微镜
地点:玉泉校区功率器件研究楼一楼微纳超净室碳化硅氧化炉
地点:玉泉校区功率器件研究楼00101探针轮廓仪
地点:玉泉校区功率器件研究楼00107椭圆偏振光谱仪
地点:显微镜
地点:玉泉校区功率器件研究楼103()显微镜
地点:玉泉校区功率器件研究楼显影台1(19007060)
地点:玉泉校区功率器件研究楼103()显影台2(19007060)
地点:微纳加工中心103显影台3(19007060)
地点:微纳加工中心103有机腐蚀台1（19007035）
地点:玉泉校区功率器件研究楼101()有机腐蚀台2（19007035）
地点:微纳加工中心有机腐蚀台3（19007035）
地点:微纳加工中心匀胶机
地点:玉泉校区功率器件研究楼104()匀胶热板一体机1(19008323)
地点:玉泉校区功率器件研究楼00103匀胶热板一体机2(19008323)
地点:微纳加工中心103匀胶热板一体机3(19008323)
地点:微纳加工中心103真空烘箱
地点:玉泉校区功率器件研究楼103()
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