BOE腐蚀台1(20007462)

地点:玉泉校区功率器件研究楼101()

BOE腐蚀台2(20007462)

地点:微纳加工中心

BOE腐蚀台3(20007462)

地点:微纳加工中心

RCA清洗台1 (20007461)

地点:微纳加工中心

RCA清洗台2 (20007461)

地点:微纳加工中心

RCA清洗台3 (20007461)

地点:微纳加工中心

RTP快速退火炉

地点:玉泉校区功率器件研究楼00104

步进式激光直写曝光系统

地点:玉泉校区功率器件研究楼00103

场发射扫描电子显微镜

地点:微电子楼一楼超净室113

超高真空复合溅射镀膜系统

地点:玉泉校区功率器件研究楼00205

磁控溅射系统

地点:玉泉校区功率器件研究楼00101

倒扣焊键合机

地点:玉泉校区功率器件研究楼00103

等离子清洗机

地点:玉泉校区功率器件研究楼103()

等离子增强化学气相淀积系统

地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净室

低压化学气相沉积设备

地点:微电子裙楼111

电子束直写设备

地点:玉泉校区功率器件研究楼微纳加工中心102

反应离子干法刻蚀机

地点:玉泉校区功率器件研究楼00103

分析仪器*热电偶19017349

地点:微纳加工中心

感应耦合等离子干法刻蚀系统

地点:玉泉校区功率器件研究楼00101

光刻机

地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净室

烘胶台

地点:玉泉校区功率器件研究楼103()

深反应刻蚀机

地点:玉泉校区微电子群楼一楼超净间

石英管清洗机

地点:玉泉校区功率器件研究楼101()

碳化硅氧化炉

地点:玉泉校区功率器件研究楼00101

探针轮廓仪

地点:玉泉校区功率器件研究楼00107

椭圆偏振光谱仪

地点:

显微镜

地点:玉泉校区功率器件研究楼

显微镜

地点:玉泉校区功率器件研究楼103()

显影台1(19007060)

地点:玉泉校区功率器件研究楼103()

显影台2(19007060)

地点:微纳加工中心103

显影台3(19007060)

地点:微纳加工中心103

有机腐蚀台1(19007035)

地点:玉泉校区功率器件研究楼101()

有机腐蚀台2(19007035)

地点:微纳加工中心

有机腐蚀台3(19007035)

地点:微纳加工中心

匀胶机

地点:玉泉校区功率器件研究楼104()

匀胶热板一体机1(19008323)

地点:玉泉校区功率器件研究楼00103

匀胶热板一体机2(19008323)

地点:微纳加工中心103

匀胶热板一体机3(19008323)

地点:微纳加工中心103

真空烘箱

地点:玉泉校区功率器件研究楼103()
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