收费标准
仪器名称:聚焦离子束微纳加工系统(编号:11009542)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
微纳加工 元/小时 1800.0 自助上机机时费 【收费领导小组第八十七次会议通过】

仪器名称:飞秒激光器(编号:11025182)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
按小时收费 元/小时 400.0 自助上机机时费 院内价格为800元/天,按天收费。

仪器名称:光学传递函数分析仪(编号:1001768Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
送样收费 元/小时 2000.0 自助上机机时费
传函测量 元/小时 2000.0 自助上机机时费

仪器名称:PI光谱仪(编号:13019274)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
光谱测试 元/样 250.0 测试费 院内300元/天。

仪器名称:双光子显微镜(编号:17024375)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
双光子显微镜 元/小时 500.0 自助上机机时费

仪器名称:任意波形发生器(编号:20021972)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 160.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第89次会议

仪器名称:切割机(编号:15016844)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
加工 元/小时 500.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过

仪器名称:氩离子激光器(编号:0408814Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
计时费 元/小时 200.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第九十次会议

仪器名称:光谱仪(编号:20001696)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
单个荧光光谱测量 元/小时 500.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组第96次会议通过

仪器名称:台阶仪(轮廓仪)(编号:14014070)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
粗糙度轮廓测试 元/小时 260.0 自助上机机时费 参考收费管理小组2018年第4次会议

仪器名称:傅里叶光变换红外光谱显微镜系统(编号:17020098)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测送样试费 元/样 120.0 测试费 参考收费管理小组第七十七次会议

仪器名称:高性能干法刻蚀设备(编号:0603742G)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
默认 元/小时 600.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组第96次会议通过

仪器名称:矢量网络分析仪(编号:13005778)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
矢网分析 元/小时 600.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第七十八次会议
微波测量 元/小时 200.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第七十八次会议

仪器名称:三维干涉显微镜(白光轮廓仪)(编号:11007358)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
三维形貌粗糙度测试 元/小时 400.0 自助上机机时费 校收费管理小组2023年第3次会议通过

仪器名称:连续单纵模可调谐激光器(编号:11021160)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
激光器使用 元/小时 200.0 自助上机机时费 院内为500元/天,按天收费。

仪器名称:光致量子效率测试仪(编号:18026512)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测样费 元/样 100.0 测试费 参考收费管理小组第85次会议

仪器名称:激光振镜扫描系统(编号:17007755)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
成像 元/小时 500.0 自助上机机时费

仪器名称:接触角表面张力测量仪(编号:1008360Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
表面张力测量 元/样 200.0 测试费 76次会议通过
接触角测量 元/样 150.0 测试费 76次会议

仪器名称:显微共焦拉曼光谱仪(编号:21002345)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
变温拉曼(委托测试) 元/小时 800.0 自助上机机时费 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议
单点测试 元/小时 400.0 自助上机机时费 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议
面扫描 元/小时 450.0 自助上机机时费 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议
面扫描(委托测试) 元/小时 650.0 自助上机机时费 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议
变温拉曼 元/小时 600.0 自助上机机时费 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议

仪器名称:原子层沉积系统(编号:11021266)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
Al2O3镀膜 元/小时 900.0 自助上机机时费

仪器名称:准分子激光器(编号:17003005)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 200.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第九十次会议

仪器名称:光刻机(编号:1001631Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 800.0 自助上机机时费 参考收费管理小组第92次会议标准
材料费 0.0 材料费 光刻胶、涂胶机、热板不另计费。特种光刻胶(如SU8胶等)价格面议。参考收费管理小组第92次会议标准

仪器名称:切割机(编号:15021964)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
加工 元/小时 500.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过

仪器名称:共聚焦荧光显微镜(编号:17017988)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
共聚焦荧光显微镜 元/小时 500.0 自助上机机时费 参考第78次会议

仪器名称:用于精密光学传感器加工系统激光光源(编号:1005109G)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 200.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第九十次会议

仪器名称:PECVD镀膜机(编号:0603743G)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
氮化硅 100nm 200.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
氮氧化硅 100nm 200.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
不定型硅 100nm 200.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
基准费 元/小时 600.0 自助上机机时费 收费管理小组第七十八次会议通过
二氧化硅(掺杂) 100nm 320.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
二氧化硅(不掺杂) 100nm 160.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过

仪器名称:矢量网络分析仪(编号:0804310Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
矢网分析 元/小时 600.0 自助上机机时费 参考学校收费管理小组第七十八次会议

仪器名称:傅里叶红外光谱仪(FTIR)(编号:15014527)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
常温样品测试(自主上机) 元/小时 250.0 自助上机机时费 参考收费管理小组第98次会议
红外光谱测试 元/样 150.0 测试费

仪器名称:干涉仪(编号:0506661Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
干涉仪 元/小时 300.0 自助上机机时费

仪器名称:电子束蒸发镀膜机(编号:16011420)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
委托加工费 元/小时 300.0 测试费 参考微纳平台
机时费 元/小时 600.0 自助上机机时费 参照微纳平台

仪器名称:电子束曝光机(编号:13006945)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
送样费 元/小时 0.0 自助上机机时费 送样测试不额外收费
机时费 元/小时 1200.0 自助上机机时费 学校收费管理小组第96次会议通过

仪器名称:场发射扫描电子显微镜(编号:0906405Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
场发射扫描电子显微镜 元/小时 700.0 自助上机机时费 【收费管理小组第七十八次】

仪器名称:磁控溅射镀膜机(编号:11024654)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
委托加工费 元/小时 200.0 测试费 参照微纳平台
机时费 元/小时 400.0 自助上机机时费 参照微纳平台

仪器名称:离子束溅射镀膜系统(编号:11021940)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
样品镀膜 元/小时 800.0 自助上机机时费

仪器名称:高性能计算集群(编号:12005764)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
集群计算使用 元/小时 1.0 自助上机机时费 收费小组76次会议

仪器名称:显示器影像品质特性测量系统(编号:12015449)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测量收费 元/小时 330.0 自助上机机时费

仪器名称:采样示波器(编号:1005116G)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 600.0 自助上机机时费 参考校收费管理小组第七十八次会议

仪器名称:频谱分析仪(编号:0902697G)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 200.0 自助上机机时费 参考收费管理小组第89次会议

仪器名称:三维半球形光学系统Imaging Sphere(编号:12015447)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测量样本 元/小时 360.0 自助上机机时费

仪器名称:光示波器(编号:15012569)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
示波器使用 元/小时 100.0 自助上机机时费 77次会议通过

仪器名称:可调激光器系统(编号:12018855)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
光谱测量 元/小时 200.0 自助上机机时费

仪器名称:感应耦合等离子刻蚀机(编号:0805508Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
机时费 元/小时 0.0 自助上机机时费
InP (基准费,最大1um) 400.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
清洁费 150.0 材料费 多次刻蚀成分不同时每次更换成分收取一次清洁费,收费管理小组第七十八次会议通过
GaAs (基准费,最大1um) 500.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
GaAs (额外材料费) 1um 150.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过
InP (额外材料费) 1um 150.0 材料费 收费管理小组第七十八次会议通过

仪器名称:光纤熔接机(编号:15025252)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
光纤熔接 元/小时 800.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过

仪器名称:反应离子蚀刻机(编号:9900873Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
离子蚀刻 元/小时 900.0 自助上机机时费 由学校收费管理小组78次会议通过,开机费校外600元,校内500元

仪器名称:分子束外延设备(编号:0701620Q)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
分子束外延生长 元/小时 200.0 自助上机机时费 2021年第1次会议通过;以上只是机时使用费用,还需要额外耗材费,人员管理费

仪器名称:信号质量分析仪(编号:21000953)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
1H谱 元/样 160.0 测试费 参考浙大校办(2000)18号
HMBC 元/样 450.0 测试费 参考浙大校办(2000)18号
二维核磁 1H—1H相关谱 元/样 240.0 测试费 参考浙大校办(2000)18号
13C谱 元/样 240.0 测试费 参考浙大校办(2000)18号

仪器名称:12T无液氦超导磁体系统(编号:20037805)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
电学测量 元/小时 400.0 自助上机机时费

仪器名称:超高精度矿物材料磨抛加工机床(编号:11013323)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
超精密加工 元/小时 2600.0 自助上机机时费 收费管理小组第91次会议

仪器名称:特种光纤熔接系统(编号:13003408)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
仪器使用费,耗材费 元/小时 800.0 自助上机机时费 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过

仪器名称:光学弱吸收仪(编号:18016477)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测试费 元/小时 550.0 自助上机机时费

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