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收费标准
| 仪器名称: | 双光子显微镜(编号：17024375) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 双光子显微镜 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 光致量子效率测试仪(编号：18026512) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测样费 | 元/样 | 100.0 | 测试费 | 参考收费管理小组第85次会议 |
| 仪器名称: | 飞秒激光器(编号：11025182) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 按小时收费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 院内价格为800元/天，按天收费。 |
| 仪器名称: | 分子束外延设备(编号：0701620Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 分子束外延生长 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 2021年第1次会议通过；以上只是机时使用费用，还需要额外耗材费，人员管理费 |
| 仪器名称: | 干涉仪(编号：0506661Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 干涉仪 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | PI光谱仪(编号：13019274) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光谱测试 | 元/样 | 250.0 | 测试费 | 院内300元/天。 |
| 仪器名称: | 高性能计算集群(编号：12005764) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 集群计算使用 | 元/小时 | 1.0 | 自助上机机时费 | 收费小组76次会议 |
| 仪器名称: | 光学传递函数分析仪(编号：1001768Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样收费 | 元/小时 | 2000.0 | 自助上机机时费 | |
| 传函测量 | 元/小时 | 2000.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 可调激光器系统(编号：12018855) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光谱测量 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 连续单纵模可调谐激光器(编号：11021160) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 激光器使用 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 院内为500元/天，按天收费。 |
| 仪器名称: | 光示波器(编号：15012569) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 示波器使用 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 77次会议通过 |
| 仪器名称: | 三维干涉显微镜（白光轮廓仪）(编号：11007358) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 三维形貌粗糙度测试 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 校收费管理小组2023年第3次会议通过 |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统(编号：11021266) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| Al2O3镀膜 | 元/小时 | 900.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 超高精度矿物材料磨抛加工机床(编号：11013323) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 超精密加工 | 元/小时 | 2600.0 | 自助上机机时费 | 收费管理小组第91次会议 |
| 仪器名称: | 接触角表面张力测量仪(编号：1008360Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 表面张力测量 | 元/样 | 200.0 | 测试费 | 76次会议通过 |
| 接触角测量 | 元/样 | 150.0 | 测试费 | 76次会议 |
| 仪器名称: | 台阶仪（轮廓仪）(编号：14014070) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 粗糙度轮廓测试 | 元/小时 | 260.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组2018年第4次会议 |
| 仪器名称: | 外量子效率仪(编号：11009615) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机费 | 元/小时 | 0.0 | 自助上机机时费 | 使用后按院内价格统一改价。 |
| 送样测试费 | 元/样 | 100.0 | 测试费 | 收费管理小组第八十五次会议通过 |
| 仪器名称: | PECVD镀膜机(编号：0603743G) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 氮化硅 | 100nm | 200.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 氮氧化硅 | 100nm | 200.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 不定型硅 | 100nm | 200.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 基准费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 二氧化硅(掺杂) | 100nm | 320.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 二氧化硅(不掺杂) | 100nm | 160.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 仪器名称: | 采样示波器(编号：1005116G) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 参考校收费管理小组第七十八次会议 |
| 仪器名称: | 磁控溅射镀膜机(编号：11024654) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 200.0 | 测试费 | 参照微纳平台 |
| 机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 参照微纳平台 |
| 仪器名称: | 电子束曝光机(编号：13006945) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样费 | 元/小时 | 0.0 | 自助上机机时费 | 送样测试不额外收费 |
| 机时费 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 学校收费管理小组第96次会议通过 |
| 仪器名称: | 电子束蒸发镀膜机(编号：16011420) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工费 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | 参考微纳平台 |
| 机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 参照微纳平台 |
| 仪器名称: | 傅里叶光变换红外光谱显微镜系统(编号：17020098) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测送样试费 | 元/样 | 120.0 | 测试费 | 参考收费管理小组第七十七次会议 |
| 仪器名称: | 感应耦合等离子刻蚀机(编号：0805508Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 0.0 | 自助上机机时费 | |
| InP (基准费，最大1um) | 次 | 400.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 清洁费 | 次 | 150.0 | 材料费 | 多次刻蚀成分不同时每次更换成分收取一次清洁费，收费管理小组第七十八次会议通过 |
| GaAs (基准费，最大1um) | 次 | 500.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| GaAs (额外材料费) | 1um | 150.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| InP (额外材料费) | 1um | 150.0 | 材料费 | 收费管理小组第七十八次会议通过 |
| 仪器名称: | 高性能干法刻蚀设备(编号：0603742G) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 默认 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组第96次会议通过 |
| 仪器名称: | 光纤熔接机(编号：15025252) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光纤熔接 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过 |
| 仪器名称: | 频谱分析仪(编号：0902697G) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第89次会议 |
| 仪器名称: | 切割机(编号：15016844) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 加工 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过 |
| 仪器名称: | 切割机(编号：15021964) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 加工 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪(编号：13005778) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢网分析 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第七十八次会议 |
| 微波测量 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第七十八次会议 |
| 仪器名称: | 氩离子激光器(编号：0408814Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 计时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第九十次会议 |
| 仪器名称: | 用于精密光学传感器加工系统激光光源(编号：1005109G) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第九十次会议 |
| 仪器名称: | 准分子激光器(编号：17003005) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第九十次会议 |
| 仪器名称: | 共聚焦荧光显微镜(编号：17017988) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 共聚焦荧光显微镜 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 参考第78次会议 |
| 仪器名称: | 光学弱吸收仪(编号：18016477) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 550.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 激光振镜扫描系统(编号：17007755) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 成像 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 离子束溅射镀膜系统(编号：11021940) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 样品镀膜 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 反应离子蚀刻机(编号：9900873Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 离子蚀刻 | 元/小时 | 900.0 | 自助上机机时费 | 由学校收费管理小组78次会议通过，开机费校外600元，校内500元 |
| 仪器名称: | 三维半球形光学系统Imaging Sphere(编号：12015447) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测量样本 | 元/小时 | 360.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 显示器影像品质特性测量系统(编号：12015449) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测量收费 | 元/小时 | 330.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 12T无液氦超导磁体系统(编号：20037805) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电学测量 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪(编号：0804310Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢网分析 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第七十八次会议 |
| 仪器名称: | 聚焦离子束微纳加工系统(编号：11009542) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 微纳加工 | 元/小时 | 1800.0 | 自助上机机时费 | 【收费领导小组第八十七次会议通过】 |
| 仪器名称: | 傅里叶红外光谱仪（FTIR）(编号：15014527) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 常温样品测试（自主上机） | 元/小时 | 250.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第98次会议 |
| 红外光谱测试 | 元/样 | 150.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 信号质量分析仪(编号：21000953) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 1H谱 | 元/样 | 160.0 | 测试费 | 参考浙大校办（2000）18号 |
| HMBC | 元/样 | 450.0 | 测试费 | 参考浙大校办（2000）18号 |
| 二维核磁 1H—1H相关谱 | 元/样 | 240.0 | 测试费 | 参考浙大校办（2000）18号 |
| 13C谱 | 元/样 | 240.0 | 测试费 | 参考浙大校办（2000）18号 |
| 仪器名称: | 光谱仪(编号：20001696) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 单个荧光光谱测量 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组第96次会议通过 |
| 仪器名称: | 任意波形发生器(编号：20021972) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 | 参考学校收费管理小组第89次会议 |
| 仪器名称: | 显微共焦拉曼光谱仪(编号：21002345) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 变温拉曼（委托测试） | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议 |
| 单点测试 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议 |
| 面扫描 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议 |
| 面扫描（委托测试） | 元/小时 | 650.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议 |
| 变温拉曼 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 浙江大学收费管理小组2022年第三次会议 |
| 仪器名称: | 场发射扫描电子显微镜(编号：0906405Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 场发射扫描电子显微镜 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | 【收费管理小组第七十八次】 |
| 仪器名称: | 光刻机(编号：1001631Q) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 参考收费管理小组第92次会议标准 |
| 材料费 | 次 | 0.0 | 材料费 | 光刻胶、涂胶机、热板不另计费。特种光刻胶（如SU8胶等）价格面议。参考收费管理小组第92次会议标准 |
| 仪器名称: | 特种光纤熔接系统(编号：13003408) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 仪器使用费，耗材费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 收费标准由学校收费管理小组2022年第5次会议通过 |
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